- спектр распылённых атомов
- spectrum of sputtered atoms
Русско-английский физический словарь. 2013.
Русско-английский физический словарь. 2013.
КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ — разрушение тв. тел при бомбардировке их поверхности атомами, нонами и нейтронами (впервые наблюдалось как разрушение катода в газовом разряде). Продукты распыления атомы, положит. и отрицат. ионы, а также нейтр. и ионизиров. ат. комплексы… … Физическая энциклопедия
ИОННО-ИОННАЯ ЭМИССИЯ — испускание ионов (вторичных) поверхностью тв. тела при облучении её потоком ионов (первичных). В составе вторичных ионов наблюдаются отражённые первичные ионы, изменившие при отражении знак заряда (конверсия ионов), а также ионы примесных в в… … Физическая энциклопедия